时间：2023年4月17日 下午2：30

地点：1A502

题目：纳米森林结构及其在MEMS热电堆传感器中的集成应用

报告人简介：

       毛海央，中国科学院微电子所研究员，博士生导师，主要从事纳米材料与MEMS传感器研究。主持包括国家自然科学基金项目、国家重点研发计划课题、国防创新项目、国防预研项目、中科院青促会（优秀）项目、省级重点研发计划等20余个科研项目以及多个传感器产业化项目。在Advanced Functional Materials、Small、ACS Sensors、Microsystem & Nanoengineering 等期刊以及IEEE MEMS等国际会议上发表论文100余篇；申请专利90余项，已授权专利53项。在产业化方面，围绕MEMS热电堆传感器和MEMS湿度传感器开发了十余款产品，出货量达数千万颗（套）。

报告摘要：

MEMS热电堆传感器具有广泛的应用。热电堆器件对光的吸收能力影响着器件的性能，引入纳米结构增强光吸收能力是提升MEMS热电堆传感器的有效手段。报告将介绍基于等离子再聚合原理制备纳米森林结构的新工艺思路，并介绍利用纳米森林结构的宽光谱高吸收特性，设计以纳米森林结构为光吸收层的新型MEMS热电堆传感器。原为集成纳米森林结构之后器件在可见光-近红外波段，性能提升3-5倍，在中红外波段性能提升35%，展示出纳米森林结构在光电、光热电相关 MEMS传感器中优异的应用前景。